真空镀膜设备有哪些分类?


发布时间:

2022-02-17

在真空镀膜设备中,需要镀膜的称为基体,镀膜材料称为靶材,衬底和靶在真空室中。蒸发镀膜一般是指加热靶材,通过成膜过程形成薄膜,使表面成分以原子团或离子的形式蒸发,然后沉积在衬底表面。对于践射镀膜,真空镀膜机可以简单理解为用高能激光或电子轰击靶材,以原子团或离子的形式沉积在衬底表面,践射表面成分,经过成膜过程形成薄膜。

 

  在真空镀膜设备中,需要镀膜的称为基体,镀膜材料称为靶材,衬底和靶在真空室中。蒸发镀膜一般是指加热靶材,通过成膜过程形成薄膜,使表面成分以原子团或离子的形式蒸发,然后沉积在衬底表面。对于践射镀膜,真空镀膜机可以简单理解为用高能激光或电子轰击靶材,以原子团或离子的形式沉积在衬底表面,践射表面成分,经过成膜过程形成薄膜。  

 

  根据工艺要求,选择包括糍控反应践射真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、糍控践射真空镀膜设备、电阻蒸发真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等不同类型和规格的镀膜设备。用户可以根据板材的尺寸和形状,以及旋转的精度和速度范围提出相应的要求:通用可调和变频调速等。

 

  不同类型真空镀膜设备的应用范围介绍如下:

       真空镀膜设备

  1、糍控践射镀膜设备:用作如磁光信息存储、磁信息存储等信息存储领域;

 

  2、糍控践射镀膜机:用作如汽车钢板、飞机发动机叶片、散热器等等防护涂层;

 

  3、糍控践射铝膜镀膜生产线:用作太阳能利用领域,如太阳能电池、太阳能集热管;

 

  4、光学镀膜设备:用作如防反射膜、高反射膜、截止滤光片、防伪膜等光学薄膜领域。

 

       5、透明导电膜糍控践射镀膜生产线:用作如LCD屏、等离子屏等信息显示领域。

 

  6、触摸屏连续镀膜生产线:用作如手机、电脑、MP4等数码产品的屏幕触摸屏领域。

 

  7、糍控中频多弧离子镀膜设备:用作硬质涂层,如刀具、模具及耐磨、耐腐蚀零件。

 

  8、磁控管生产线:用作集成电路制造,如薄膜电阻、薄膜电容、薄膜温度传感器等。

 

  9、蒸发真空镀膜设备:用作手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等装饰饰品的镀膜。


 

 

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