中频磁控溅射镀膜机
真空镀钛设备具有溅射速率快、沉积速率高等优点，彻底克服了靶打弧和有效控制中毒现象。
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中频磁控溅射镀膜机
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青岛万瑞通真空科技有限公司
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产品描述
真空镀钛设备具有溅射速率快、沉积速率高等优点，彻底克服了靶打弧和有效控制中毒现象。在金属制品及非金属制品表面镀制合金膜、多层复合膜等。产品涂层美观、表面细腻、耐磨损不褪色，可镀制多种颜色。
产品特性
真空镀钛设备具有溅射速率快、沉积速率高等优点，彻底克服了靶打弧和有效控制中毒现象，有效提高了涂层加工过程中工艺稳定性和可靠性，使产品表面更具美观、细腻、耐磨损不褪色。
新开发的中频对靶、孪生靶、矩形磁控靶等各种形式的中频磁控溅射靶，被广泛应用到钟表行业、3C行业、洁具行业、饰品行业。如手表配件、手机配件、眼睛架、餐具、五金香包、卫浴洁具、服饰、玻璃等。
技术参数
| 设备型号 | WRT-0810 | WRT-1212 | WRT-1312 | WRT-1513 | WRT-1612 |
| 真空室尺寸 | 800*1000 | 1200*1200 | 1300*1200 | 1500*1300 | 1600*1200 |
| 膜层种类 | 多功能金属膜、复合膜、装饰膜 | ||||
| 真空室结构 | 立式前开门结构(双层水套式冷却)、后置抽气系统 | ||||
| 真空系统 | 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵 | ||||
| 加热系统 | 常温至350°可调可控(PID控温)，不锈钢无加热管加热 | ||||
| 加气系统 | 质量流量控制仪(1路-4路) | ||||
| 电源类型 | 电弧电源、中频电源、磁控溅射电源、脉冲偏压电源 | ||||
| 靶类型 | 多弧靶、柱弧靶、中频孪生靶、平面磁控靶 | ||||
| 工件旋转方式 | 上下行星公转+自转旋转，公自转无极变频调速可调可控(0-16r/min) | ||||
| 抽气时间 | 空载大气抽至5.0x10-³Pa小于15min | ||||
| 极限真空 | 6.0x10-4Fa(空载、洁净) | ||||
| 保压率 | 1h≤0. 6Pa | ||||
| 控制方式 | 手动+半自动/触摸屏+PLC | ||||
| 备注 | 设备各配置指标可按客户产品及工艺要求定制 | ||||
应用领域
应用到钟表行业、3C行业、洁具行业、饰品行业。如手表配件、手机配件、眼睛架、餐具、五金香包、卫浴洁具、服饰、玻璃等。
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