工模具类镀膜设备

该设备用于对切削工具、合金刀片、齿轮刀具、模具等，涂层具有高温硬度和耐磨性，必要的抗弯强度、冲击韧性和化学惰性，良好的工艺性(切削加工、锻造和热处理等)，并不易变形。

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工模具类镀膜设备

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青岛万瑞通真空科技有限公司

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技术参数

设备型号	SP-0506AI	SP-0810AI	SP-0910AI	SP-1112AI
负载直径（mm）	350	600	650	900
负载高度（mm）	420	750	800	1000
极限真空	6.0x10^-5Pa
抽气时间	空载大气至5.0x10-³Pa小于20分钟
压升率	1h≤0. 5Pa
真空泵组	机械泵+罗茨泵+分子泵+维持泵
加热系统	常温至550℃可调可控(PID控温)
加气系统	质量流量控制仪(1路-4路)
靶结构	圆弧靶、Cloud弧、溅射靶、气体离子源
电源类型	弧电源、高压轰击偏压电源、HiPIMS溅射电源、SPA电源等
工件旋转方式	公自转+二次自转变频可控可调1-5转/分
最大载重量	250KG	500KG	500KG	1200KG
控制方式	手动+半自动+全自动一体化+PLC+IPC
备注	设备各配置指标可按客户产品及工艺要求定制