多弧离子镀膜机

多弧离子镀膜设备具有沉积速度快,离化率高、离子能量大、膜层结合力好、设备操作简单、运行成本低、生产效率高等优点。

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多弧离子镀膜机

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青岛万瑞通真空科技有限公司

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产品描述

产品特性

多弧离子镀膜设备具有沉积速度快,离化率高、离子能量大、膜层结合力好、设备操作简单、运行成本低、生产效率高等优点。微米级厚度的硬质涂层可以有效的保护被镀产品的外观。低温镀膜工艺可以实现在多种材料上沉积,涂层工艺的多种组合可以制造出更多色彩。广泛应用于工具、模具的超硬涂层,高尔夫球具、钟表、卫浴洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品、陶瓷和玻璃等的装饰涂层等领域。

技术参数

设备型号 WRT-1012 WRT-1213 WRT-1315 WRT-1618 WRT-1820 WRT-2225
真空室尺寸 1000*1200 1200*1300 1300*1500 1600*1800 1800*2000 2200*2500
膜层种类 TiN钛金、ZrN镐金、TiCN玫瑰金、七彩氧化钛、黑色氮化钛、耐磨耐酸碱涂层
真空室结构 立式前开门结构(双层水套式冷却)、后置抽气系统
真空系统 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵
加热系统 常温至350°可调可控(PID控温),不锈钢无加热管加热
加气系统 质量流量控制仪(1路-4路)
电源类型 电弧电源、中频电源、磁控溅射电源、脉冲偏压电源
靶类型 多弧靶、柱弧靶、中频孪生靶、平面磁控靶
工件旋转方式 上下行星公转+自转旋转,公自转无极变频调速可调可控(0-16r/min)
抽气时间 空载大气抽至5.0x10-³Pa小于15min
极限真空 6.0x10-4Fa(空载、洁净)
保压率 1h≤0. 6Pa
控制方式 手动+半自动/触摸屏+PLC
备注 设备各配置指标可按客户产品及工艺要求定制

应用领域

广泛应用于工具、模具的超硬涂层,汽车轮毂、高尔夫球具、钟表、酒店用品、卫浴洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品、陶瓷和玻璃等的装饰涂层等领域。

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