多弧离子镀膜机
多弧离子镀膜设备具有沉积速度快,离化率高、离子能量大、膜层结合力好、设备操作简单、运行成本低、生产效率高等优点。
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多弧离子镀膜机
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青岛万瑞通真空科技有限公司
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中文网址:真空镀膜设备.中国
产品描述
产品特性
多弧离子镀膜设备具有沉积速度快,离化率高、离子能量大、膜层结合力好、设备操作简单、运行成本低、生产效率高等优点。微米级厚度的硬质涂层可以有效的保护被镀产品的外观。低温镀膜工艺可以实现在多种材料上沉积,涂层工艺的多种组合可以制造出更多色彩。广泛应用于工具、模具的超硬涂层,高尔夫球具、钟表、卫浴洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品、陶瓷和玻璃等的装饰涂层等领域。
技术参数
设备型号 | WRT-1012 | WRT-1213 | WRT-1315 | WRT-1618 | WRT-1820 | WRT-2225 | |
真空室尺寸 | 1000*1200 | 1200*1300 | 1300*1500 | 1600*1800 | 1800*2000 | 2200*2500 | |
膜层种类 | TiN钛金、ZrN镐金、TiCN玫瑰金、七彩氧化钛、黑色氮化钛、耐磨耐酸碱涂层 | ||||||
真空室结构 | 立式前开门结构(双层水套式冷却)、后置抽气系统 | ||||||
真空系统 | 机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵 | ||||||
加热系统 | 常温至350°可调可控(PID控温),不锈钢无加热管加热 | ||||||
加气系统 | 质量流量控制仪(1路-4路) | ||||||
电源类型 | 电弧电源、中频电源、磁控溅射电源、脉冲偏压电源 | ||||||
靶类型 | 多弧靶、柱弧靶、中频孪生靶、平面磁控靶 | ||||||
工件旋转方式 | 上下行星公转+自转旋转,公自转无极变频调速可调可控(0-16r/min) | ||||||
抽气时间 | 空载大气抽至5.0x10-³Pa小于15min | ||||||
极限真空 | 6.0x10-4Fa(空载、洁净) | ||||||
保压率 | 1h≤0. 6Pa | ||||||
控制方式 | 手动+半自动/触摸屏+PLC | ||||||
备注 | 设备各配置指标可按客户产品及工艺要求定制 |
应用领域
广泛应用于工具、模具的超硬涂层,汽车轮毂、高尔夫球具、钟表、酒店用品、卫浴洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品、陶瓷和玻璃等的装饰涂层等领域。
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