PVD镀膜设备有哪些注意事项？
发布时间：
2022-07-27
系统会自动关闭高阀，此时真空室与泵组隔离，真空室内压力会升高。在一定时间内，如果压力不超过设定的报警值，系统会自动进行下一步程序，进入镀膜步骤。那么，PVD镀膜设备有哪些注意事项?
PVD镀膜设备有哪些注意事项？
系统会自动关闭高阀，此时真空室与泵组隔离，真空室内压力会升高。在一定时间内，如果压力不超过设定的报警值，系统会自动进行下一步程序，进入镀膜步骤。那么，PVD镀膜设备有哪些注意事项?
PVD镀膜设备有哪些注意事项？
1、开机时检查水路是否畅通，确定冷却塔和真空泵是否工作正常，检查气路是否畅通，确定空压机是否工作正常。
2、确认真空室内的膜料、离子源灯丝和工件架是否按要求放置。
3、工艺完成后，应关闭电子枪、离子源等开关，待真空镀膜设备冷却消失后，方可关闭电源。
4、不要擅自打开电气柜和真空室的屏蔽门。
PVD镀膜设备有哪些工艺流程？
1、高阀关闭，真空表关闭，真空室与泵组隔离。
2、当操作员按下排气按钮时，预连接的氮气将通过充气阀充入真空室。当真空室中的压力达到压力开关的预设压力时，充气阀将关闭。
3、真空室中填充了大量的真空度很低，更有利于热传导。因此冷却速度比没有时快很多，缩短了冷却时间，提高了生产效率。
4、由于氦气的导热性高，氦气的冷却速度比氮气快，但成本也较高。
5、对于国外设备的快速冷却程序，通过冷却气体的循环冷却，冷却时间可缩短50%。
PVD镀膜设备有哪些维护措施？
1、PVD镀膜设备日常维护：是在当天生产中发现设备有任何不良迹象，立即解决。如果发现机械泵的油量低，就要加。不要以为机油是定期换的，当需要维修时，泵的转子可能会严重磨损。
2、PVD镀膜设备定期维护。其实每一种设备都有自己的使用寿命。做好日常维护和定期保养，在延长设备使用寿命的同时，生产过程中出现故障的概率也大大降低，生产效率也得到提高。在我们的自动镀膜工艺中，压升率测试是自动进行。当真空室内真空度达到工艺设定的本底真空后，进入压升率测试步骤。
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