真空镀膜设备这些知识，你都了解吗？

发布时间：

2022-02-14

真空镀膜设备主要是指一种需要在较高真空度下进行的镀膜，包括很多种，包括真空离子蒸发、磁控溅射、分子束外延、激光溅射沉积等。真空镀膜设备主要思想分为蒸发和溅射。需要涂覆的称为基材，需要涂覆的材料称为靶材。衬底和靶在真空室中。蒸发镀膜一般是指加热靶材，使表面成分以原子团或离子的形式蒸发，然后沉积在衬底表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射镀膜，可以简单理解为靶受到电子或高能激光的轰击，表面成分以原子团或

　　真空镀膜设备主要是指一种需要在较高真空度下进行的镀膜，包括很多种，包括真空离子蒸发、磁控溅射、分子束外延、激光溅射沉积等。真空镀膜设备主要思想分为蒸发和溅射。需要涂覆的称为基材，需要涂覆的材料称为靶材。衬底和靶在真空室中。蒸发镀膜一般是指加热靶材，使表面成分以原子团或离子的形式蒸发，然后沉积在衬底表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射镀膜，可以简单理解为靶受到电子或高能激光的轰击，表面成分以原子团或离子的形式溅射出来，沉积在衬底表面，经过成膜、蒸镀设备和蒸镀设备的过程，然后形成薄膜。　　

　　真空镀膜设备的使用步骤

　　1、电控柜操作：开启真空镀膜设备水泵、气源;打开主电源;保持泵和真空计通电，并将真空计置于V1位置，等待直到其值小于10.然后进入下一个操作。大约需要5分钟;打开机械泵、预泵，打开涡轮分子泵电源，启动，将真空计切换到V2位置，抽至2以下，约20分钟;观察涡轮分子泵读数达到250后，关闭泵，打开前置发动机和高位阀继续抽真空，抽真空到一定程度后打开右侧高真空表观察真空度。直到真空度达到210-3.电子枪的电源才能接通。

真空镀膜设备

　　2、电子枪电源柜操作：打开真空镀膜设备主电源;同时打开电子枪控制一和电子枪控制二的电源：按下电子枪控制一的电源和延时开关，延时、电源和保护灯将点亮。三分钟后，延时保护灯熄灭。如果后门没有正确关闭或水流继电器有故障，保护灯将一直亮着。通断时，高压将达到10KV以上，束流可调节至200毫安左右，幕栅为20V/100毫安，灯丝电流为1.2A，偏转电流在1 ~ 1.7之间摆动。

　　3、关机顺序：关闭真空镀膜设备真空计，关闭分子泵;分子泵显示50时，依次关闭高阀、前级、机械泵，约40分钟;当温度低于50°时，关闭维护泵。

　　真空镀膜设备维护方法：

1、真空镀膜设备在完成200多道镀膜工序后，应清洗工作室一次。

2、当低真空泵连续工作一个月时，需要更换新油。方法：拧开注油螺栓，排干旧油，然后启动泵几秒钟，将泵内的旧油完全排干。拧回注油螺栓，并添加新油至额定量。连续使用半年以上，换油时应打开油盖，用布擦去箱内污垢。

3、真空镀膜设备扩散泵连续使用6个月以上，泵速明显变慢或操作不当。充入大气，取下连接水管，取下电炉盘，拧出一次喷嘴，先用汽油清洗泵腔和泵胆，再用混有水的洗衣粉清洗，然后用清水清洗。水蒸发后安装泵胆，加入新的扩散泵油，放回体内，连接水管，重启真空镀膜设备前要注意检漏。

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