共享pvd镀膜设备的检漏方法
发布时间：
2022-05-03
检漏是保证pvd镀膜设备真空度的检验措施。真空度直接影响镀膜效果，因此pvd镀膜设备检漏必不可少。
共享pvd镀膜设备的检漏方法
检漏是保证pvd镀膜设备真空度的检验措施。真空度直接影响镀膜效果，因此pvd镀膜设备检漏必不可少。
一般来说，真空室中的空气泄漏是由室壁上的一些孔或组件前面的接头引起的。当抽气系统抽空气时，真空室内的压力降低，内外压力差使气体从压力高的外部流向压力低的真空室内，造成真空度降低。
在pvd镀膜设备的检漏过程中，为了做好检漏工作，应注意以下几个问题。
一、确认pvd镀膜设备制造商的设备到底有没有漏水。因为工件材料加热后会不同程度的产生气体，可能会被误认为是气体从外面流入，属于虚漏。这种情况应该排除。
二、测试真空室的气体密封性能。确保气密性符合要求。
三、检查漏风孔的大小、形状、位置、漏风速度，制定解决方案并实施。
四、确定pvd镀膜设备厂家检测仪器的小检漏率和检漏灵敏度，以便大范围检测漏气，避免某些漏孔被忽略，提高检漏的准确性。
五、掌握好检漏仪的反应时间和排除时间。把握好时间，确保检漏仪工作到位。如果时间短，检漏效果肯定差。时间长了，就浪费了检漏气和人工电费。
六、还需要避免堵塞pvd镀膜设备制造商的漏孔。有时由于操作失误，在检漏过程中，一些灰尘或液体堵住了漏孔，以为这个位置没有漏孔。然而，当这些塞子没有由于内外压差加大或其他原因堵塞泄漏孔时，泄漏仍然存在。
做好pvd镀膜设备的检漏工作非常重要。真空度降低的原因是多方面的。我们应该逐一解决这些原因，以稳定涂层效果。
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