pvd镀膜机制造商告诉你维修秘诀
发布时间:
2022-03-07
使用pvd镀膜机时,每完成200道以上的镀膜工序,都要用烧碱(NaOH)饱和溶液清洗设备,用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁。(注意人体皮肤不能直接接触苛性钠溶液,以免烫伤)目的是使被包覆的铝(AL)与NaOH发生反应,反应后薄膜会脱落并释放出氢气。
很多人不重视pvd镀膜机的维护,导致真空镀膜设备出现很多问题。那么真空镀膜设备的维护秘诀是什么呢?下面pvd镀膜机制造商告诉你。
使用pvd镀膜机时,每完成200道以上的镀膜工序,都要用烧碱(NaOH)饱和溶液清洗设备,用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁。(注意人体皮肤不能直接接触苛性钠溶液,以免烫伤)目的是使被包覆的铝(AL)与NaOH发生反应,反应后薄膜会脱落并释放出氢气。然后用清水清洗真空室,用蘸有汽油的布清洗细抽阀内的污垢。每完成200道涂装工序,工作室就要打扫一次。当低真空泵(滑阀泵、旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)时,也需要更换新油。拧下油螺栓,排出旧油,然后启动泵几秒钟,使泵内的旧油完全排出。拧回油螺栓,并添加新油至额定量(用油镜观察)。
pvd镀膜机连续使用半年以上,换油时要打开油盖,用布擦去箱内污垢。扩散泵连续使用6个月以上,抽气速度会明显变慢。扩散泵连续使用6个月以上后,抽气速度明显变慢,或操作不当。充入大气,拆下连接水管,拆下电炉板,旋出一次喷嘴,先用汽油清洗泵腔和泵衬,再用混有水的洗衣粉清洗,再用清水清洗。水蒸发后,安装泵胆,添加新的扩散泵油,放回体内,连接水管,安装电炉板。重启pvd镀膜机机器前,注意泄漏检测。然后启动维护泵,关闭门,几分钟后观察扩散泵的局部真空度是否达到6X10 Pa,否则需要检漏。检查密封橡胶圈是否安装在接头处或密封圈是否被压碎。漏气隐患消除前不要加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。
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