pvd镀膜机有哪些分类?
发布时间:
2022-02-05
pvd镀膜机主要是指一种需要在较高真空度下进行的镀膜,包括MBE分子束外延镀膜机、磁控溅射镀膜机、真空离子蒸发镀膜机和PLD激光溅射沉积镀膜机等,主要分为蒸发和溅射。
pvd镀膜机主要是指一种需要在较高真空度下进行的镀膜,包括MBE分子束外延镀膜机、磁控溅射镀膜机、真空离子蒸发镀膜机和PLD激光溅射沉积镀膜机等,主要分为蒸发和溅射。
在pvd镀膜机中,镀膜材料称为靶材,需要镀膜的称为基体。蒸发镀膜通过加热靶材,使表面成分以原子团或离子的形式蒸发,然后沉积在衬底表面,通过成膜过程形成薄膜。对于溅射镀膜,pvd镀膜机可以简单理解为以原子团或离子的形式溅射表面成分,用电子或高能激光轰击靶材,然后沉积在衬底表面,经过成膜过程形成薄膜。
根据工艺要求,选择不同规格和类型的pvd镀膜机,包括磁控反应溅射真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、电阻蒸发真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀,夹具的操作形式包括旋转、公转和公转自转。用户可以根据板材的尺寸和形状,以及旋转的速度范围和精度提出相应的要求:通用可调和变频调速等。
不同类型pvd镀膜机的应用范围介绍如下:1、磁控溅射pvd镀膜机:用于磁光信息存储、磁信息存储等信息存储领域;2、磁控溅射镀膜机:用于汽车钢板、飞机发动机叶片、散热器等防护涂层;3、磁控溅射铝膜镀膜生产线:用于太阳能集热管、太阳能电池太阳能利用领域;4、光学镀膜设备:用于防反射膜、高反射膜、截止滤光片、防伪膜等光学薄膜领域。5、透明导电膜磁控溅射镀膜生产线:应用于信息显示领域,如LCD屏、等离子屏等。6、触摸屏连续pvd镀膜机生产线:应用于手机、电脑、MP4等数码产品的屏幕的触摸屏领域。7、磁控中频多弧离子镀膜设备:用于刀具、模具及耐磨、耐腐蚀零件硬质涂层。8、磁控管生产线:用于集成电路制造,如薄膜电阻、薄膜电容、薄膜温度传感器等。9、蒸发真空镀膜设备:用于手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等装饰饰品的镀膜。10、玻璃pvd镀膜机生产线:用于建筑玻璃,如太阳能控制膜、low-E玻璃、防雾防露及自洁玻璃等。
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