DLC硬质涂层镀膜设备

DLC 硬质涂层镀膜设备是专业制备类金刚石涂层的真空装备，采用磁控溅射、等离子体辅助沉积技术，膜层硬度高、摩擦系数低、耐磨耐蚀、光滑自润，适配金属、陶瓷、硬质合金基材，用于刀具、模具、精密传动件、耐磨件的表面改性与延寿，自动化程度高，膜层均匀稳定。

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DLC硬质涂层镀膜设备

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青岛万瑞通真空科技有限公司

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中文网址：真空镀膜设备.中国

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产品特性

技术参数

设备型号	PVD-0708	PVD-0809	PVD-0910	PVD-1012	PVD-1212	PVD-1215
真空室尺寸	Φ700*H800	Φ800*H900	Φ900*H1000	Φ1000*H1200	Φ1200*H1200	Φ1200*H1500
真空室结构	立式前开门结构配置抽气系统及水冷系统
真空获得系统	维持泵+机械泵+罗茨泵+分子泵(具体型号可根据客户的要求进行配置)
真空测量系统	一台皮拉尼(MKS)一台冷阴极(MKS)一台薄膜规(MKS)
电源类型	直流电源、离子源电源、RET刻蚀电源(偏压电源)
溅射靶类型	平面溅射靶、离子源沉积靶、刻蚀靶
极限真空指标	空载冷态 1.0-6.0x10-4Pa
工件转动方式	多轴行星式公自转、变频调速(可控可调)
工件烘烤温度	常温-300℃至450℃-600℃可控可调(PID温控)
工艺气体	3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统氩气、氮气、氧气、乙炔等
冷却方式	水冷却循环方式,另配工业冷却水塔或工业冷水机(制冷机)或深冷系统。(客户提供)
控制方式	PLC+触摸屏操作或计算机控制,手动、半自动、自动方式
供给指标	气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2Mpa
报警及保护	对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警,并执行相应保护措施及电气联锁功能。
整机总功率	25-65KW	45-85KW	65-105KW	85-115KW	95-125KW	100-130KW
输出频率	电压380V+5%，频率50Hz(可根据客户国家用电标准配置)
设备占地面积	15-50㎡	15-50㎡	25-55㎡	25-55㎡	35-55㎡	35-55㎡
备注	设备各配置指标可按客户产品及工艺要求定制