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工模具类镀膜设备
该设备用于对切削工具、合金刀片、齿轮刀具、模具等，涂层具有高温硬度和耐磨性，必要的抗弯强度、冲击韧性和化学惰性，良好的工艺性(切削加工、锻造和热处理等)，并不易变形。
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工模具类镀膜设备
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中文网址：真空镀膜设备.中国
产品描述
产品特性
该设备用于对切削工具、合金刀片、齿轮刀具、模具等，涂层具有高温硬度和耐磨性，必要的抗弯强度、冲击韧性和化学惰性，良好的工艺性(切削加工、锻造和热处理等)，并不易变形。
技术参数
| 真空室尺寸 | 600*600 | 800*800 | 800*1000 | 1000*1000 | 1150*1000 |
| 膜层种类 | TiN、CrN、CrALN等多种复合硬质膜层 | ||||
| 真空室结构 | 立式前开门八角结构设计(水槽式+水套式复合冷却、后置抽气系统) | ||||
| 真空测量系统 | 一台皮拉尼(MKS)一台冷阴极(MKS)一台薄膜规(MKS) | ||||
| 真空系统 | 机械泵+罗茨泵+分子泵+维持泵 | ||||
| 加热系统 | 200-500°可调可控(PID控温)，不锈钢铠甲式发热管加热 | ||||
| 加气系统 | 质量流量控制仪(4路或多路) | ||||
| 电源类型 | 电弧电源、刻蚀电源、脉冲偏压电源 | ||||
| 靶类型 | 多弧靶、刻蚀靶 | ||||
| 工件旋转方式 | 上下行星公转+自传旋转，公自转无极变频调速可控可调(0-6r/min) 公自转+二次自转 变频可控可调1-5转/分 | ||||
| 最大载重量 | 250KG | 500KG | 500KG | 1200KG | |
| 抽气时间 | 空载大气抽至5x10-3pa小于13分钟 | ||||
| 极限真空 | 6.0x10-4pa | ||||
| 保压率 | 1h≤0.4pa | ||||
| 控制方式 | 半自动+全自动、触摸屏+PLC | ||||
| 备注 | 设备各配置指标可按客户产品及工艺要求定制 | ||||
应用领域
广泛应用于精密模具、工具、汽车等多个工业领域，用于冲棒模具、钻头、活塞等工业领域。
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