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多弧离子溅射镀膜机
多弧中频溅射镀膜机采用多弧离子镀与中频磁控溅射双工艺复合设计，具备成膜速率快、膜基结合力强、膜层致密无大液滴、色差一致性好等优势，可稳定沉积钛金、炫彩、黑色、灰色、仿不锈钢等装饰膜系及耐磨、抗氧化、耐腐蚀功能膜，适配金属、玻璃、陶瓷等多种基材，自动化程度高、工艺可调范围广，广泛用于高端装饰与功能表面处理领域。
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多弧离子溅射镀膜机
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青岛万瑞通真空科技有限公司
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中文网址：真空镀膜设备.中国
产品描述
产品特性
多弧中频溅射镀膜机采用多弧离子镀与中频磁控溅射双工艺复合设计，具备成膜速率快、膜基结合力强、膜层致密无大液滴、色差一致性好等优势，可稳定沉积钛金、炫彩、黑色、灰色、仿不锈钢等装饰膜系及耐磨、抗氧化、耐腐蚀功能膜，适配金属、玻璃、陶瓷等多种基材，自动化程度高、工艺可调范围广，广泛用于高端装饰与功能表面处理领域。
技术参数
| 真空室尺寸 | 1350x1300 | 1600*1800 | 1688*1300 | 1860*1300 | 2000*2000 |
| 制膜种类 | 金属膜、复合膜、透明导电膜、增透射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等 | ||||
| 电源类型 | 电弧电源、柱弧电源、中频磁控电源、高压离子轰击电源 | ||||
| 靶类型 | 电弧靶、柱弧靶、中频靶 | ||||
| 真空室结构 | 立式单开门 | ||||
| 真空系统 | 机械泵+罗茨泵+分子泵+维持泵(或选配:扩散泵、深冷系统) | ||||
| 充气系统 | 质量流量控制仪(4路或多路) | ||||
| 极限真空 | 6.0x10-4pa(空载、洁净) | ||||
| 抽气时间 | 空载大气抽至5x10-3pa小于13分钟 | ||||
| 工件旋转方式 | 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 | ||||
| 控制方式 | 半自动+全自动一体化/智能摸屏+PLC | ||||
| 备注 | 设备各配置指标可按客户产品及工艺要求定制 | ||||
应用领域
主要应用于五金装饰、玻璃陶瓷、卫浴洁具、3C 电子、汽车配件、钟表饰品等行业，用于工件表面彩色装饰膜、耐磨防腐膜、隔热膜、功能保护膜的规模化镀膜加工。
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