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中频磁控溅射镀膜机
中频磁控溅射镀膜机具有溅射速率更稳定、沉积速率高、膜层更细腻，能实现多种复合膜层等优点。彻底克服了靶打弧和有效控制中毒现象，有效提高了涂层加工过程中工艺稳定性和可靠性，使产品表面更具美观、细腻、耐磨损不褪色。新开发的中频对靶、孪生靶、矩形磁控靶等各种形式的中频磁控溅射靶，被广泛应用到钟表行业、餐具行业、汽车行业。如手表配件、手机配件、眼睛架、餐具、汽车零部件等。
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中频磁控溅射镀膜机
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中文网址：真空镀膜设备.中国
产品描述
产品特性
中频磁控溅射镀膜机具有溅射速率更稳定、沉积速率高、膜层更细腻，能实现多种复合膜层等优点。彻底克服了靶打弧和有效控制中毒现象，有效提高了涂层加工过程中工艺稳定性和可靠性，使产品表面更具美观、细腻、耐磨损不褪色。新开发的中频对靶、孪生靶、矩形磁控靶等各种形式的中频磁控溅射靶，被广泛应用到钟表行业、餐具行业、汽车行业。如手表配件、手机配件、眼镜架、餐具、汽车零部件等。
技术参数
| 真空室尺寸 | 1350*1300 | 1600*1800 | 1688*1300 | 1860*1300 | 2000*2000 |
| 膜层种类 | 多功能金属膜、复合膜、装饰膜 | ||||
| 真空室结构 | 立式前开门结构(水槽式+水套式复合冷却)、后置抽气系统 | ||||
| 真空系统 | 机械泵+罗茨泵+分子泵/扩散泵+维持泵 | ||||
| 加热系统 | 常温至350°可调可控(PID控温)，不锈钢无加热管加热 | ||||
| 加气系统 | 质量流量控制仪(4路或多路) | ||||
| 电源类型 | 电弧电源、柱弧电源、中频磁控溅射电源、脉冲偏压电源 | ||||
| 靶类型 | 电弧靶、柱弧靶、中频孪生靶、平面磁控靶 | ||||
| 工件旋转方式 | 上下行星公转+自转旋转，公自转无极变频调速可调可控(0-6r/min) | ||||
| 抽气时间 | 空载大气抽至5x10-3pa小于13分钟 | ||||
| 极限真空 | 6.0x10-4pa(空载、洁净) | ||||
| 保压率 | 1h≤0.6pa | ||||
| 控制方式 | 半自动+全自动/触摸屏+PLC | ||||
| 备注 | 设备各配置指标可按客户产品及工艺要求定制 | ||||
应用领域
主要应用于五金装饰、玻璃陶瓷、卫浴洁具、3C 电子、汽车配件、钟表饰品等行业，用于工件表面彩色装饰膜、耐磨防腐膜、隔热膜、功能保护膜的规模化镀膜加工。
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