光学真空镀膜设备的结构及原理

发布时间：

2022-02-21

日常使用的手机屏幕、手机壳、手机套、相机、眼镜、滤镜和一些高科技产品等。都离不开镀膜技术，甚至更离不开真空镀膜设备。光学镀膜技术已经成为人们生活中不可分割的一部分，光学镀膜技术开创了高科技产业的发展，在生活中占有非常重要的地位。

　　日常使用的手机屏幕、手机壳、手机套、相机、眼镜、滤镜和一些高科技产品等。都离不开镀膜技术，甚至更离不开真空镀膜设备。光学镀膜技术已经成为人们生活中不可分割的一部分，光学镀膜技术开创了高科技产业的发展，在生活中占有非常重要的地位。　

　　光学真空镀膜设备由真空系统、蒸发系统、冷却系统和电气系统组成，其中真空系统由真空罐和排气系统组成。真空罐是涂布机的主体，涂布过程在真空罐中完成。真空罐通过连接阀与排气系统连接。为了提高薄膜质量，防止空气分子对溅射离子的影响，工作时须将光学元件和离子源置于真空环境中。排气系统主要由罗茨泵、机械泵和真空泵组成，负责排出真空罐内的气体，在罐内形成真空环境。蒸发系统主要指成膜装置。镀膜机的成膜装置有很多种，如射频溅射、磁控溅射、电子枪蒸发、电阻加热、离子镀等。

真空镀膜设备

　　光学真空镀膜设备通过真空溅射在光学元件上镀膜，以改变元件对入射光的反射率和透过率。同时，为了提高成像质量，尽可能减少元件表面的反射损耗，往往会涂覆多层膜。光学元件镀膜后，光在多层膜表面多次反射透射，形成多光束干涉。通过控制薄膜的厚度和折射率，可以获得不同的强度分布。基于这一原理，可以制造偏振反射膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片，以满足更复杂的要求。

　　光学真空镀膜设备优点：

　　(1)成膜温度低。钢铁行业中，热浸镀锌的镀层温度一般为400 ~ 500°，化学镀层温度甚至高于1000°。如此高的温度容易导致被镀零件的变形和变质，而真空镀膜的低温可以降低到常温，从而避免了传统镀膜工艺的缺点。

　　(2)蒸发源选择自由度大。有许多涂层材料可供选择，不受材料熔点的限制。可以镀各种金属氮化物膜、金属氧化物膜、金属碳化材料和各种复合膜。

　　(3)不使用有害气体或液体，对环境无不利影响。目前，人们越来越重视环境保护，这是宝贵的。

　　(4)带钢镀层质量好。可以获得均匀、光滑和薄的涂层，具有高纯度、耐腐蚀性和附着力。不存在热镀锌漏镀点、锌波、锌花等问题。

　　(5)工艺灵活，品种更换方便。可以单面、双面和单层、多层和混合层电镀，涂层厚度易于控制。

　　总之，光学真空镀膜设备对带钢进行真空镀膜是集冶金、真空、化学、物理等多学科于一体的高新技术。其产品附加值高，既有带钢的强度和价格低，又有涂装后多功能、多品种、高质量的优点，是一个很有前途的新型带钢材料的研发方向。

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